Factuel : Quels sont les activités proposées dans le cadre de ce TP ?
Jean-Paul Salvestrini : Ce TP est une introduction aux technologies de micro et nano fabrication pour la micro-électronique. Ces technologies sont à la base de quasiment tous les systèmes miniaturisés que nous utilisons au quotidien : puces électroniques et capteurs intégrés que l’on trouve dans les ordinateurs ou smartphones par exemple. Ce TP permet l’initiation au design des procédés de fabrication nécessaires à la fabrication d’un composant donné. Ces procédés (croissance de matériaux couche atomique par couche atomique, gravures localisées à l’échelle du micron, contrôle des structures à ces mêmes échelles) sont ensuite mis en oeuvre par l’utilisation d’équipements à l’état de l’art (lithographies, CVD, PVD, ALD, gravures humides et sèches,…) pour la réalisation d’un composant choisi.
Factuel : Pouvez-vous présenter la plate-forme où a lieu ce TP et les équipements utilisés ?
J-P. S. : Ce TP, constitué d’une partie théorique et d’une partie pratique, est une unité d’enseignement proposé dans le cadre du cursus de master et de doctorat en Electrical and Computer Engineering (ECE) de Georgia Tech et dispensée en langue anglaise. La partie théorique se déroule donc à Georgia Tech Lorraine (partenaire international du programme LUE), le campus européen de Georgia Tech situé sur le Technopole de Metz. La partie pratique se déroule au sein de l’Institut Lafayette une plateforme d’innovation et de transfert technologique de 2500 m2 dont 500 m2 de salle blanche, situé à deux pas de Georgia Tech Lorraine et disposant d’équipements de tout premier plan
Factuel : Que vous apporte cette labellisation " TP d'excellence ORION " ?
J-P. S. : Cette labellisation conforte tout d'abord l’implication de GTL dans les programmes LUE, et ORION, de l’Université de Lorraine. Pour aller plus loin, nous souhaitons ouvrir ce TP d’excellence aux étudiants de l’UL et nous pensons que cette labellisation est un excellent levier pour cela.